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半導体LSI技術

半導体は、名前は聞いたことがある方も多いと思います。日本がリードしていた(る?)分野ですが、最近WBSニュースでは暗いものばかり。。。日本の技術を支えてきた分野でもあるので悲しい限りです。

この本はシリーズではじめて300ページを超えたため、何とかページ数を抑えるのに苦労しました。ただ、中身は丁寧かつ網羅的に書かれており、半導体の本では名著といってもよいでしょう!

本書では半導体LSIについての物性や素子に関する基礎から設計製造、品質管理やクリーンルームについてなど幅広く丁寧に紹介されてます。入門書、わからないときに戻る辞書的な役目として最適です!

 

牧野博之益子洋治山本秀和 著

2012年3月初版1刷発行

https://amzn.to/2H8uWsh

類書としては下記をお勧めします。

物性についても学びたい方はかきをどうぞ!