半導体は、名前は聞いたことがある方も多いと思います。日本がリードしていた(る?)分野ですが、最近WBSのニュースでは暗いものばかり。。。日本の技術を支えてきた分野でもあるので悲しい限りです。
この本はシリーズではじめて300ページを超えたため、何とかページ数を抑えるのに苦労しました。ただ、中身は丁寧かつ網羅的に書かれており、半導体の本では名著といってもよいでしょう!
本書では半導体LSIについての物性や素子に関する基礎から設計製造、品質管理やクリーンルームについてなど幅広く丁寧に紹介されてます。入門書、わからないときに戻る辞書的な役目として最適です!
2012年3月初版1刷発行
類書としては下記をお勧めします。
物性についても学びたい方はかきをどうぞ!